半导体检测

薄膜材料的纳米力学测试解决方案

2021-04-09641
检测样品
硅基上超薄薄膜
检测项目
弹性模量
应用领域
电子/电气

冠乾科技(上海)有限公司

初级会员5
方案概述
布鲁克TI系列纳米材料机械性能,压痕,划痕,摩擦磨损具有精度很高,结合原位AFM功能,可获得准确数据,排除环境因素,底材因素。
相关产品清单
方案详细说明

通过研发的 xProbe超低噪音传感探头,可以获得超薄涂层<10nm薄膜的机械性能。避免底材的受到机械力产生的形变数据影响。

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